Термин «очистка» имеет долгую историю на китайском языке и первоначально означал «сделать чистым и чистым» и может в широком смысле относиться ко всем процессам и технологиям удаления примесей и устранения загрязнений. Соответствующие английские термины включают «очищение» (подчеркивание чистоты) и «чистый» (подчеркивание чистоты). Таким образом, английское выражение «инженерия чистых помещений» включает, среди прочего, «инженерию очистки», «чистую инженерию» или «технологию чистых помещений». Это широкое значение определяет, что проектирование чистых помещений имеет разные значения в разных дисциплинах.
Современное проектирование чистых помещений, в основе которого лежат технологии чистых помещений, зародилось в 1950-х годах. Во время Корейской войны американские военные обнаружили, что многие электронные приборы часто выходят из строя из-за попадания пыли, что стимулировало развитие технологий очистки воздуха, особенно исследование и применение высокоэффективных фильтров твердых частиц (HEPA). В 1961 году Уиллис Уитфилд из Sandia National Laboratories предложил схему организации чистого воздушного потока с «ламинарным потоком» (теперь официально называемую «однонаправленным потоком»), позволяющую чистым помещениям достичь беспрецедентного уровня чистоты. В том же году ВВС США выпустили первый в мире стандарт чистых помещений, а в 1963 году был опубликован федеральный стандарт США FED-STD-209, ознаменовавший начальное формирование системы технологий чистых помещений. Впоследствии, с быстрым развитием таких отраслей, как интегральные схемы и биомедицина, технологии проектирования чистых помещений постоянно обновлялись и развивались.
В Китае «Кодекс проектирования чистых помещений» (GBJ 73-84) был обнародован в 1984 году, а «Кодекс строительства и приемки чистых помещений» (JGJ 71-90) был обнародован в 1990 году. После нескольких изменений была сформирована система национальных стандартов, в основе которой лежит GB 50073-2013 «Кодекс проектирования чистых помещений». На международном уровне серия стандартов ISO 14644, составленная техническим комитетом ISO/TC209, является общим руководством для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред. моя страна приняла эти стандарты и внедрила их как серию GB/T 25915.